產品簡介

GSL-1800X-ZF-AM連續式多腔室蒸發鍍膜系統是一款高真空的可連續進樣的蒸發鍍膜儀，主要由傳遞室和蒸發鍍膜室兩部分組成，基片架可以在傳遞室和濺射室實現往復運動，由調頻電機控制，自動同步運行，且往復位置和運動速度均可以設定，兩室內均有定位功能，可實現原點復位。特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有機物。本機設有4個蒸鍍加熱舟，每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍，加熱舟上方有一個可旋轉擋板，當其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住，以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實現對有機材料的蒸發鍍膜，可滿足發光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜理想且性價比較高的實驗設備。GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀腔底部配有5個水冷電極，在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化，進而損壞電極。該機采用金屬腔室，具有高的真空度，真空度可達到5.0×10^-7torr，樣品臺可對樣品進行加熱，加熱溫度為室溫-500℃，是進行高真空蒸發鍍膜的設備。

主要特點

• 由傳遞室和蒸發鍍膜室兩大部分組成，可實現快速連續的進樣蒸發鍍膜。

• 真空控制單元全部集合在一個控制盒內。

• 采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

• 真空腔體設有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，提升效率）、1個CF150閘板閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規）、6個CF35法蘭（1個安裝電離規，1個安裝2芯電極，1個安裝膜厚儀）3個備用。

• 在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。

• 樣品臺安裝在腔體的頂部。

• 腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀，膜厚測量分辨率（鋁）為0.1?。

• 可使用循環水冷機。

技術參數