產品型號      

VTC-300BUSS

主要參數      

旋轉主機
1、載樣盤（吸盤+卡片）：聚丙烯真空吸盤：φ203 mm ，最大吸附基片直徑：φ305 mm
2、運行方式：單方向逆時針運行
3、主軸轉速：100-3000rpm 有效
4、轉速穩定性：±2%
5、擺臂擺動角度：0-60° 建議： 8 寸(φ203)設置角度 45°、12 寸(φ305)設置角度 60°
6、擺臂速度：1-20°/s
7、霧化噴頭：圓柱尖頭：更窄的噴霧直徑～20mm 1 個
                蘑菇頭：更寬的噴霧直徑～40mm 1 個
8、超聲波噴頭頻率：40KHz±10%：振幅功率檔位：1、2、3 檔位可調
9、顆粒大小：10-20um
10、流量大小：0.6pl-4ml/min
11、粘度大小：≤100cps
12、固體含量：≤10%
13、流體粘度范圍：1-50mpa.s（cP）
14、水溶液推薦壓縮空氣范圍：～2psi
15、超聲功率：200W
16、加熱方式：紅外線加熱燈：輻射烘烤
17、加熱溫度：RT-50℃
18、加熱功率：2KW
19、排風口：φ100(可外接：過濾箱體內其他氣體)
20、主機控制方式：PLC 編程器+觸摸屏+旋鈕無極調速
21、主機總功率：2.5KW
22、主機供電端口：AC220V 50Hz 16A

注液泵系統
1、外形尺寸：250×225×170 mm
2、注液速度：0.1-45 mm/min
3、微調速度：0.01-8 mm/ min
4、注射器直徑：0.04-30 mm
5、標配針管容積：20ml
6、行程設置范圍：0.001-120 mm
7、泵功率：≤50W
8、泵供電端口：DC24V （標配“電源適配器"IN:AC100-240V 50/60Hz OUT：DC24V 3.75A）

注：1、設備供電為國內標準 AC220V 50Hz 供電，實際供電以產品后部標牌參數為準。
2、注射泵為獨立供電供電、參數獨立設置，與主機聯動“運行"啟動。

產品規格：
外形尺寸：600×600×800mm；
總重量：100kg

可選配件      

1、多路（可加熱）供液系統。
2、靜音無油空氣壓縮機。
3、清洗機：
（1）等離子清洗機：PCE-6小型等離子清洗機、PCE-6V小型等離子清洗機         
（2）紫外線臭氧清洗機：PCE-22紫外臭氧清洗機
4、膜厚儀：TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀、SGC-10薄膜測厚儀