VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

簡要描述：VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機是一款高性能精密勻膠機，采用了優(yōu)良的設(shè)計理念，配合精密的運動控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì)，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空，工作時利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-02-13
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產(chǎn)品簡介 VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機是一款高性能精密勻膠機，采用了優(yōu)良的設(shè)計理念，配合精密的運動控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì)，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空，工作時利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上，此方式操作簡便、樣件取放自如，吸盤真空度可達到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無刷電機，噪音低、振動小、運行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強、維修與保養(yǎng)簡單，電機啟動快速穩(wěn)定，加速后運行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

技術(shù)參數(shù) VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

產(chǎn)品名稱	VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機
產(chǎn)品型號	VTC-100PAH
安裝使用條件	1、溫濕度：10-85%RH (at 25℃ 無凝露）溫度：0-45℃。 2、設(shè)備周圍無強烈震源和腐蝕氣體。水源無此需求 3、電源：AC100-240V 50/60Hz 國標三極插座 10A 必須有良好接地 4、氣源：真空負壓（真空泵）：抽氣流量不小于 70L/M 5、工作臺：建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺為佳） 6、通風裝置：無特殊要求
技術(shù)參數(shù)	1、設(shè)備供電：DC24V 標配適配器：IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A 2、總功率：150W(不含外接真空泵） 3、主機腔體（材質(zhì)）：聚丙烯+亞格力 4、載樣盤（吸盤）：2英寸、 4英寸各一個 5、運行程序：包含16個運行階段 6、涂膜轉(zhuǎn)速：1500-20000rpm有效(遞增量為：100rpm為單位) 7、增加速率設(shè)置范圍：100 rpm/s—6000 rpm/s 8、減速停車速率范圍：100 rpm/s—3000 rpm/s 9、時間設(shè)定范圍：1-99s(設(shè)定速度范圍：1500至10000rpm)； 1-60s(設(shè)定速度范圍：大于10000至20000rpm) 10、真空接口：快插接頭，采用φ8 PU管連接 11、操作控制方式：7寸觸摸屏(人機界面）
產(chǎn)品規(guī)格	重量：12kg 外形尺寸：250×340×320mm
備注	設(shè)備隨機標配“電源適配器"，其規(guī)格參數(shù)為：IN：AC100-240V 50/60Hz OUT：DC24V 15A，設(shè)備實際供電以產(chǎn)品后部標牌參數(shù)為準。